Höhere Empfindlichkeit bei der Kontaminationskontrolle Das Transpector® Gas Analysis System ist ein RGA, der genaue und zuverlässige Daten für Vakuumprozessüberwachung, Prozessdiagnose und Leckerkennung bei der Halbleiterherstellung bereitstellt. Im Transpector 2 werden durch die erhöhte Wasserstoffempfindlichkeit Verunreinigungen auf Sub-ppm-Ebenen sichtbar, und eine um das Vierfache schnellere Abtastung gegenüber Signalen mit niedrigem Pegel sowie ein erweiterter dynamischen Bereich sorgen für zuverlässigere Daten bei niedrigeren feststellbaren Partialdrücken.
Features auf einen Blick
100-, 200- und 300-amu-Systeme mit Faraday-Becher oder einer Kombination aus Elektronenvervielfacher und Faraday-Becher
Verbesserte Wasserstofferkennung
Erhöhter Scheitelwert und Positionsstabilität
Eine bis zu 10-fache Verbesserung des Signal-Rausch-Abstands im Vergleich zum ursprünglichen Transpector
Schnellere Abtastung gegenüber Signalen mit niedrigem Pegel
Elektronischer dynamischer Bereich über neun Dekaden
Softwareoptionen für Systeme mit einer und mehreren Kammern
Partialdruckmessung von 1 X 10 -4 Torr bis 5 X 10 -15 Torr
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