残留ガス分析器 (RGAs)、INFICON

Vacuum Furnace and Metallurgy

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リーク感知機

残留ガス分析器

•	Mobile Cart for Transpector CPM Compact Process Monitor
•	Transpector 2 Gas Analysis System
•	Transpector 2 Gas Analysis System
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•	Transpector CPM
•	Transpector Software

真空バルブとガス注入システム

真空計

真空部品

残留ガス分析計 (RGAs)

INFICONの残留ガス分析器（RGAｓ）は、汚染ガスの存在をつきとめ、希望のプロセスガスの存在を照合しながら製造プロセスを継続的に監視する、プロセスエンジニアのための支援診断ツールとして使用されます。

Transpector® 残留ガス分析器(RGAs)群
Transpector® ガス分析器は、真空プロセスの監視、プロセス、診断、リーク検出において、正確で信頼できるデータを提供します。

Transpector 2 ガス分析システム
優れた感度で汚染をコントロール。このRGAは半導体製造において真空プロセスの監視、プロセス診断、およびリーク検出の正確かつ信頼性の高いデータを提供します。

Transpector CPMコンパクトプロセスモニター
総合的なガス分析がお手頃に。このRGAはフル機能を備えた、コンパクトでお手頃なガス分析器で、複雑なプロセスのin situ監視に理想的です。

Transpector ソフトウェア
Transpectorガス分析システムのプロセス特性評価ソフトウェア

Transpector CPMコンパクトプロセスモニターの可動型カート
モバイルトラブルシューティングのための内蔵型カート