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Transpector CPMコンパクトプロセスモニター
総合的なガス分析が手ごろに

INFICONのTranspector® CPM はin Situ早期警告を発し、以下によってコストを削減します。
  • ガスフェーズ反応計測
  • 真空の完全性を確認
  • トレースレベルの汚染を特定
  • プロセスと背景蒸着を計測
  • ガス純度を定性

総合的なガス分析がお手頃に。このRGAはフル機能を備えた、コンパクトでお手頃なガス分析器で、複雑なプロセスのin situ監視に理想的です。このドライポンプシステムは実証済みのINFICON Transpector 2ガス分析システム を使い、作業において新たなレベルを獲得するお手伝いをします。


特長一覧
  • 四重極をベースとしたガス分析システムで複雑なプロセスを監視
  • 7日間24時間監視で歩留まりと処理能力を最大化し、コストを最少化
  • コンパクトで、すべての高圧真空チャンバーにインストールできる手頃な価格
  • HexBlock™サンプリングシステムが作業を最大化
  • 組込み式CDGでプロセス圧監視と真空インターロック
  • オプションで調整用校正レファレンスとガスレファレンスあり
  • 長寿命のクローズドイオンソースが、腐食性と反応性ガスに耐久性を持ちながら、サブPPMレベルまでの汚染を検出
  • 軽量で持ち運びが簡単

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ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION

Brochures and Datasheets:

   Brochure - Transpector CPM Compact Process Monitor
English

   Technical Note - Transpector CPM Calibration Reference
English

   The Use of Quadrupole Mass Spectrometry to Detect Sub-PPM Level Contaminants in Gas-Phase Samples and Processes
English

   Transpector CPM - Integrated Process Monitor for 300mm High Pressure Degas
English

Technical Information:

   Technical Note - Choosing the Appropriate RGA
English

   Technical Note - Etch Process Monitoring with the Transpector Residual Gas Analyzer
English

   Technical Note - Gas Purge and CPM Sensor Lifetime
English

   Technical Note - Heating Jackets Can Improve RGA Performance
English

   Technical Note - The Optimization of Electron Energy for RGAs
English

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